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SEM電鏡出租全稱掃描電子顯微鏡（scanning electron microscope）。是一種利用電子束掃描樣品表面從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。它能產(chǎn)生樣品表面的高分辨率圖像，且圖像呈三維，掃描電子顯微鏡能被用來(lái)鑒定樣品的表面結(jié)構(gòu)。它由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。